當相對濕度超過 50% 時，靜電荷開始迅速消散，但當相對濕度低于 30% 時，靜電荷會在絕緣體或未接地表面上長期存在。

35% 到 40% 之間的相對濕度可以作為令人滿意的折衷方案。 半導體潔凈室和潔凈室通常使用額外的控制來限制靜電荷的積累。 許多化學反應（包括腐蝕過程）的速率會隨著相對濕度的增加而增加。 所有暴露在潔凈室周圍空氣中的表面都很快被至少一層水覆蓋。 當這些表面由與水發生反應的薄金屬涂層制成時，高濕度會加速反應。 幸運的是，一些金屬，例如鋁，可以與水形成氧化物保護層，防止進一步的氧化反應； 但在其他情況下，例如氧化銅，它沒有防護作用，因此銅表面在高濕度環境下更容易受到腐蝕。

綜上所述，電子行業無塵車間的溫濕度控制主要取決于其生產工藝的要求：下面舉例說明：

示例1)

在精密加工、計量等場合，為防止熱膨脹引起的誤差，必須使工件保持在一定的溫度。 工件溫度允許波動范圍應根據加工精度確定。 例如凈化恒溫恒濕空調，在恒溫室中打標長度為500mm的標準尺時凈化恒溫恒濕空調，工藝允許線間公差為2um，其中lum為尺子溫度變化引起的變形誤差，1um為加工和測量誤差。 1um相當于尺子溫度的變化=0.20C【a為尺子線膨脹系數，取10/um/(m?K)； l為尺子的長度，m]，因此工件的溫度變化必須在范圍內。

但由于工件測量儀器具有一定的熱慣性，空氣溫度的波動傳遞到工件后會衰減。 設計恒溫系統時恒溫恒濕機品牌，一般都是以環境空氣溫度恒定為基礎，因此相應的環境溫度精度可以低于工件允許的溫度精度。 因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，必須考慮工件恒溫恒濕車間、建筑圍護結構、空氣處理設備和自動控制系統之間的動態特性。

示例2)

電子行業的制造車間是靜電最重要的產生場所。 通常靜電會導致產品短路，甚至因導電傳導而導致員工暈倒。 因此，電子行業無塵車間的相對濕度不應低于30%，這樣可以減少靜電。 通常建議無塵車間防靜電區域的相對濕度不應低于50%。 空氣過于干燥，灰塵很容易飛揚。 電子廠無塵車間若無特殊要求，溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在55～60%RH之間。 在這樣的環境下，人們感覺很舒服。 靜電也消失了。

例3）

SMT車間對溫濕度有明確的要求

首先，主要是為了焊膏能夠在更好的環境下工作。 溫度會影響焊膏的活性，并對里面添加的助焊劑相關溶劑的活性有一定的影響。 高溫會增加其活性，最終影響絲網印刷、貼片和回流焊的效果。 容易出現焊接不牢、焊點暗淡的現象。 濕度的大小會影響焊膏在空氣中吸收的水蒸氣的量。 如果吸收過多的水蒸氣，會在回流焊時造成氣孔、飛片、連焊等現象。 因此，SMT恒溫恒濕車間的溫濕度標準為：溫度：24±2℃恒溫恒濕機價格，濕度：50±10%。

例4）

在大規模集成電路生產的光刻曝光過程中，要求用作掩模材料的玻璃和硅片的熱膨脹系數差異越來越小。 對于直徑為100um的硅片恒溫恒濕機價格，如果溫度升高1度，就會引起0.24um的線膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫。 同時濕度值一般較低，因為人出汗時會污染產品，特別是怕鈉的半導體車間不要超過25度。 濕度過高會產生更多問題。 當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會形成凝露。 如果發生在精密器件或電路中，就會造成各種事故。 相對濕度50%時易生銹。

因此，無塵車間的溫濕度控制是由其生產工藝決定的，但其精度也取決于房間的大小，如測量室、光柵打標室、精密儀器制造裝配車間等前兩種是小房間，對空調精度要求較高（這里主要指溫度和濕度）； 后兩者是較大的生產車間，對溫濕度精度要求較低。 因此，房間的大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。了解更多無塵車間知識請點擊這里

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